松村石油 O-YA

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松村石油

Barrel Perfluoro O型圈 (封止、耐热、抗腐蚀、抗Plasma)
料号	硬度	伸率	颜色	温度	Remark	主要特性
55C	55	330	Clear	200		无Particle (不含任何的重金属和添加剂);因硬度为55C，所以在高温的使用下也会有产生变形的可能性;对抗O2的表现优异;适用于窥视镜等的固定部位;在日本是针对特定机台\特定部位上使用
75B	75	120	Blk	230		优良的耐溶剂性及耐Gas;可耐高温约230℃;对于转动之物理性压力，比起其他种类更为稳定;主要使用于Chamber外的Gas Line、湿蚀刻以及CVD设备。
70W	70	150	White	200		与黑色料号(添加Carbon)相比，在Plasma环境下，Particle产生很少; 建议温度约200℃ 以下;主要使用在CDE等干蚀刻的Chamber内。
80W	80	140	White	200		提升70W Type 硬度的产品。主要使用在干蚀刻制程作动部位，如Gate Valve。
70P	70	160	Pearl	200	世界专利	保有55C Type 的无Particle优点，而作硬度提升之Type。特别于复杂电板回路的干蚀刻以及液晶设备的蚀刻，或是使用很多Gas量的设备是最合适。不含任何的重金属，所以绝不会发生腐蚀的情况。于micro wave 设备上有显著效果,于1999年6月1日取得专利。
MPB	77	180	Blk	250	高分子	和75B Type相比较则是提升了伸展度，强度以及耐热性。其余的特性则和75B相同
MPW	70	190	White	230	高分子	和70W Type相比较则是提升了伸展度，强度以及耐热性。耐气体NF3(三氟化氮, 气态清洁剂，在Chamber中氟离子可吃掉二氧化矽中的矽,提升晶圆片的良率)。
MSP2	72	200	Pearl	230	高分子	对抗NF3,O2的表现佳。遇plasma将气化,不产生particle 。
MP300B	75	230	Blk	300	高分子	具备耐300℃的高温耐久性。压缩歪(compression set)表现优异-回弹性佳, 气密性优异。同Kalrez 4079 。